乐山宣布多晶硅产业关键技术获突破微电子

2022-07-21 12:28

乐山宣布多晶硅产业关键技术获突破

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乐山四川新光硅业科技有限责任公司承担的国家科技支撑计划重点项目——“多晶硅材料产业关键技术课题”的两项子课题,日前顺利通过科技部专家组验收。这两个课题的重大突破,有效解决了长期困扰多晶硅发展的副产物处理问题。   生产多晶硅,其副产物的处理是一个世界级难题,每生产1吨多晶硅,将产生15吨左右的四氯化硅。不处理好这个问题,将会产生严重后果。为此, 乐山在上马多晶硅项目的同时,集中技术力量,力求攻克这一难题。新光硅业公司于2006年承担了两项科研课题——“大型四氯化硅热氢化技术及装置研究”和 “大型改良西门子法尾气回收工艺技术及装备研究”。通过科研人员的2年攻关,其四氯化硅热氢化技术实现了国内首创,填补了国内在此技术上的空白,有效解决 了多晶硅生产的副产物四氯化硅的排放难题。这一技术使四氯化硅在经过热氢化以后又转化成多晶硅生产原料——三氯氢硅,热氢化能力达到了80%左右,对我国 多晶硅产业的节能降耗、解决环保问题起到了巨大的促进作用。   “大型改良西门子法尾气回收工艺技术及装备研究”,则使整个尾气回收系统回收的三氯氢硅量占到供应原料炉料的50%以上,既降低了生产成本,又减少了污染物的排放,使我国在多晶硅生产技术上又迈进了一大步。

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